7 févr. 2017

Madame PLUJAT Béatrice soutiendra le vendredi 24 février 2017 à 10h au laboratoire PROMES salle In’sol à Tecnosud un doctorat de l’Université de Perpignan Via Domitia, spécialité Sciences de l’Ingénieur.


TITRE DE LA THESE :
Étude des interactions plasma/surface pour la compréhension de la croissance de couches minces SiCN:H et leur interface film/substrat : répercussions sur leurs propriétés

RESUME :
Les matériaux SiNOC:H en couches minces, de par leur flexibilité stœchiométrique, présentent une vaste gamme de propriétés et sont aujourd'hui utilisés industriellement dans de nombreuses applications : microélectronique, photovoltaïque, mécanique, etc. Nous avons ici choisi de nous intéresser plus particulièrement au carbonitrure de silicium hydrogéné SiNC:H déposé par PECVD micro-onde à partir du précurseur organosilicié liquide Tétraméthylsilane (TMS). Le but est de proposer une alternative à l'utilisation du gaz silane utilisés pour déposer ce matériau dans les procédés PECVD BF industriels tout en accroissant les vitesses de dépôt. Décomposition du TMS en phase plasma dans un mélange gazeux Ar/NH3/TMS et propriétés des couches minces déposées sont étudiées puis corrélées. Une attention particulière est portée aux premières étapes de croissance et à l'étude de l'interface film/substrat.

 

Directeur de thèse :

M. LAURENT THOMAS, Professeur, PROMES-CNRS Université de Perpignan Via Domitia

M. SEBASTIEN QUOIZOLA, MCF, PROMES-CNRSUniversité de Perpignan Via Domitia

 

Laboratoire où la thèse a été préparée : PROMES-CNRS (UPR 8521)

 

Le jury sera composé de 

 

M. ANTOINE GOULLET

Professeur – Université de Nantes

Mme. AGNES GRANIER

Directrice de recherche – Université de Nantes

M. ROBERT HUGON

MCF – Université de Lorraine

M. SÉBASTIEN QUOIZOLA

MCF, PROMES-CNRS – Université de Perpignan Via Domitia

M. PATRICE RAYNAUD

Directeur de recherche – Université de Toulouse 3, Paul Sabatier - rapporteur

Mme. STEPHANIE ROUALDES

MCF – Université Montpellier 2 - rapportrice

M. LAURENT THOMAS

Professeur, PROMES-CNRS – Université de Perpignan Via Domitia

M. ERIC TOMASELLA

Professeur – Université Clermont Ferrand 2 , Blaise Pascal